自动化高压水多晶硅还原炉钟罩清洗系统

自动化高压水多晶硅还原炉钟罩清洗系统

自动化高压水多晶硅还原炉钟罩清洗系统是德高洁独立自主研发,其工作原理是以水力自驱动三维自动旋转喷头,形成360°的网状喷射表面,完成钟罩内部表面的水力扫射,用专用清洗剂等为主要清洗液,用纯水(去离子水或叫脱盐水)漂洗,用高纯水冲洗,完成清洗过程。